產品詳情
序 | 項目 | 說明 | |
蒸發室
| 1 | 極限真空 | 極限真空優于4×10-5Pa（新設備） |
| 2 | 漏 率 | 6.7×10-8Pa·L/S | |
| 3 | 工作真空 | 工作真空5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間小于30分鐘（新設備對接手套箱冷態下，充入N2開倉） | |
| 4 | 真空保壓 | 極限后關機24小時后優于3Pa | |
| 5 | 樣品尺寸 | 300×300mm | |
| 6 | 樣品托尺 | 360×360mm | |
| 7 | 源數量 | 有機4套/金屬4套 | |
| 8 | 可蒸材料 | C60，BCP，Cu，Ag，LIF，MO3，Al | |
| 9 | 蒸發源 | 源整圓周分布，分布在手套箱內門下 水冷電極 4套。（安裝陶瓷鉭爐5cc，蒸發Cu和Al） 有機束源爐4套。（標準10cc最高溫度500℃） 以NPB為標準： 蒸鍍速率0.5-3A/s穩定可控，蒸鍍速率波動≤±0.1A/S。金屬源均勻性優于±5%,單片尺寸：≤300×300mm。以鋁為標準：0.5-3A/s穩定可控，蒸鍍速率波動≤±0.1A/S，均勻性優于±5%,單片尺寸：≤300×300mm。 | |
| 10 | 蒸發間距 | 源蒸發間距530mm, （金屬電極配有加長電極桿，初步定長度100mm） | |
| 11 | 掩膜版庫 | 無 | |
| 12 | 膜厚探頭 | 4套（一個探頭測量二個蒸發源）進口 | |
| 13 | 膜厚顯示 | 在觸摸屏上可以實施顯示：1、各個共蒸源的速率、膜厚、溫度（束源爐）；2、總的膜厚和速率。（大字體顯示） | |
| 14 | 蒸鍍控制 | 有機源速率控制/溫度控制。水冷電極金屬源速率控制/手動控制。 | |
| 15 | 軟件 | 具有工藝鎖定功能。 |
| 16 | 閉抽功能 | 具有機械泵閉抽功能，提高設備產能。 |
公司以誠信、互助、創新和認真為基石。秉承質量就是生命，信任重于泰山的經營理念。誠摯為客戶提供最佳的設計方案、最優良的產品和最滿意的售后服務。
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