Product Center

R198型帶傳遞鈣鈦礦蒸鍍設備

產品型號：

產品特點

產品詳情

序號		項目	說明
1	4+4蒸鍍室A	極限真空	優于4×10^-5Pa（新設備）
2		漏率	6.7×10^-8Pa·L/S
3		工作真空	5×10^-4Pa，從大氣到工作真空時間小于30分鐘（新設備冷態下,連接手套箱）
4		系統保壓	系統抽到極限后，停泵關機12小時后，系統真空度保持狀態≤2Pa。
5		樣品尺寸	100×100mm。（9片2.52.5或者16片1.81.8）（出廠帶三套）
6		樣品托尺寸	106×116mm。
7		樣品架與源表面距離	340mm。
8		樣品架升降	電動一級升降。
9		蒸發源	金屬源×4套，有機源×4套。（內門，外門下方各放兩只有機源，左右各放兩只金屬源）
10		掩膜板庫	在線更換一次金屬掩膜板，有機掩膜版可以掩膜三種不同區域（只漏一列A，或者只漏一列C，同時漏兩列AB）（1.4有圖示）。
11		真空室開腔形式	手動前大開門結構
12		電動傳遞桿	進行樣品傳遞，齒輪齒條方式。
13		裝片方式	側插方式。
14		膜厚探頭	水冷4只，安裝在蒸發源上方。
15	2+6鈣鈦礦蒸鍍室B	極限真空	優于4×10^-5Pa（新設備）
16		漏率	6.7×10^-8Pa·L/S
17		工作真空	5×10^-4Pa，從大氣到工作真空時間小于30分鐘（新設備冷態下，充干燥N2）
18		系統保壓	系統抽到極限后，停泵關機12小時后，系統真空度保持狀態≤2Pa。
19		樣品尺寸	100×100mm。（9片2.52.5或者16片1.81.8）（出廠帶二套）
20		樣品托尺寸	106×116mm。
21		樣品架與源表面距離	300mm
22		蒸發源	無機源×6套，有機源×2套。
23		樣品架	電動旋轉，水冷。
24		裝片方式	側插方式。
25		樣品架升降	電動一級升降。
26		真空室開腔形式	手動前后大開門結構
27		膜厚探頭	水冷4只，安裝在樣品架下方。
28		過濾器	機械泵尾氣安裝過濾器，
29		有機源控制方式	溫度控制模式、功率控制模式、速率控制模式、氣壓控制模式。